隨著奈米技術世代的來臨，半導體先進製程不斷微縮演進，對於晶圓缺陷檢測之精準度愈發殷切，傳統光學晶圓檢測技術因解析度有限而遭遇瓶頸，本公司所生產具備高解析度之電子束晶圓缺陷檢測機台，在客戶製程良率提升上扮演關鍵的角色，並已躍居為半導體先進製程之主流檢測設備。